ประเภทของเครื่องดูดฝุ่น

1. องค์ประกอบและการจำแนกเครื่องสูญญากาศ

หน่วยสูญญากาศโดยทั่วไปประกอบด้วยองค์ประกอบต่อไปนี้ปั๊มสุญญากาศต่างๆอุปกรณ์วัดสูญญากาศวาล์วสูญญากาศท่อสูญญากาศและส่วนประกอบอื่น ๆ บางอย่างเช่นเครื่องเป่าข้อต่อสูญญากาศถังเก็บก๊าซที่สูบลม

ตามแรงดันการทำงานของหน่วยมีหน่วยสุญญากาศหยาบ (> 1330Pa) หน่วยสูญญากาศต่ำ (1330 ~ 0.13Pa) หน่วยสูญญากาศสูง (0.13 ~ 1.3x10-6Pa) หน่วยสูญญากาศสูงพิเศษ (1.3x10-6 ) ~ 1.3 × 10-11 Pa) และเครื่องสูญญากาศสูงมาก (<1.2 ×="" 10-11="">

2. หน่วยสูญญากาศต่ำ

คุณสมบัติหลักของชุดสูญญากาศต่ำคือแรงดันการทำงานที่สูงและการกระจัดขนาดใหญ่ แต่ความเร็วในการสูบต่ำกว่าชุดสูญญากาศสูง โดยส่วนใหญ่จะใช้สำหรับปั๊มสุญญากาศของห้องสุญญากาศและหน่วยสูญญากาศบางอย่างที่ต้องการแรงดันการทำงานสูงเช่นชุดสูญญากาศสูญญากาศหน่วยบำบัดสูญญากาศหน่วยกรองสูญญากาศหน่วยสุญญากาศ degassing หน่วยสูญญากาศอบแห้งและอื่น ๆ ปั๊มหลักของหน่วยสูญญากาศต่ำมักจะเป็นปั๊มสูญญากาศลูกสูบปั๊มซีลปั๊มสูญญากาศปั๊มน้ำเจ็ทปั๊มไอน้ำไอน้ำปั๊มน้ำปั๊มไอน้ำมันไอพ่นเครื่องดูดซับตะแกรงโมเลกุลและปั๊มราก เมื่อใช้ชุดสูญญากาศต่ำจำเป็นต้องกำหนดค่าส่วนประกอบต่างๆเช่นตัวเก็บฝุ่นและตัวกรองแบบแห้งตามความต้องการของขั้นตอนการทำความสะอาดและความชื้นของก๊าซที่จะสูบ

3. เครื่องดูดสูญญากาศสูง

3.1 เลือกปั๊มหลัก ปั๊มหลักสามารถปั๊มกระจาย, ปั๊มโมเลกุล, ปั้มไอออนสปัตเตอร์, ปั๊มไททาเนียม, ปั๊มไครโยจีนิคและอื่น ๆ

3.2 เลือกปั๊มสำรองและท่อเก็บก๊าซ (กระแทกทำให้สั้นลงรอบการทำงานป้องกันไม่ให้มีการระบายอากาศเป็นจำนวนมากในห้องสุญญากาศและปรับความดันขาออกของปั๊มกระจาย)

4. เครื่องดูดฝุ่นแบบ Ultra-High

สูญญากาศสูงสุดของปั๊มหลักสูงอัตราการรั่วไหลต่ำและทนต่อการอบที่ 200-450 องศาเซลเซียส

4.1 เครื่องปั๊มแรงอัด: ลดการไหลย้อนกลับและควบคุมมลพิษ

4.2 หน่วยการแบ่งโมเลกุล: อัตราส่วนการอัดของไฮโดรเจนมีน้อยและก๊าซไฮโดรเจนส่วนใหญ่เป็นไฮโดรเจน

4.3 เครื่องปั้มไอออนแบบสปัตเตอร์: มักใช้ร่วมกับปั๊มไททาเนียม

4.4 เครื่องสูบไครโอนิคส์: ไม่มีมลพิษ