ตัวเครื่องหน่วยสุญญากาศสูงพิเศษและจำแนกได้

หน่วยสุญญากาศสูงพิเศษที่ทำงานเกิน 10-5pa ประกอบด้วยปั๊มกระจายแรงหน่วยดูดสูญญากาศสูงเป็นพิเศษของโมเลกุลและหน่วยสูญญากาศที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ หน่วยมีลักษณะดังต่อไปนี้:

ระดับสูญญากาศสูงสุดของปั๊มหลักสูงกว่า 10-7 ~ 10-8pa

(2) สามารถทนอุณหภูมิสูง 200 ~ 450 ℃อบ;

แรงดันบางส่วนของแก๊สกลับของปั๊มหลักอยู่ในระดับต่ำ

สำหรับปั๊มหลักที่มีความสามารถในการเลือกใช้สูงควรติดตั้งปั๊มเสริมขนาดใหญ่ที่มีขนาดใหญ่พอสมควร

(1) หน่วยดูดสูญญากาศแบบ Ultra สูง

สูญญากาศสูงสุดของหน่วยสูญญากาศสูงพิเศษที่มีปั๊มกระจายเป็นปั๊มหลักคือ 10-7 ~ 10-8pa

เพื่อลดผลกระทบของการแพร่กระจายย้อนกลับของก๊าซจากระยะหน้าของปั๊มกระจายและการแพร่กระจายย้อนกลับของน้ำมันเครื่องปั๊มเชิงกลในระดับสูญญากาศที่ดีที่สุดปั๊มการแพร่กระจายที่มีความเร็วในการสูบต่ำกว่าสามารถนำมาใช้ในขั้นตอนการ ปั๊มกระจายเพื่อลดอัตราส่วนการอัดและการแพร่กระจายย้อนกลับ ถ้ามีการเพิ่มระนาบดักระแนงไททาเนียมลงไปในทางเข้าของปั๊มกระจายแรงความดันส่วนหนึ่งของไนโตรเจนจากปั๊มกระจายสามารถลดลงได้อีกและสามารถดูดสูญญากาศสูง 10-11pa ได้

(2) ชุดสูญญากาศสูงเป็นพิเศษของปั๊มโมเลกุล

สูญญากาศสูงสุดของหน่วยสูญญากาศสูงพิเศษซึ่งส่วนใหญ่ใช้เครื่องสูบน้ำแบบโมเลกุลเป็น 10-8pa ซึ่งเป็นลักษณะการเริ่มต้นอย่างรวดเร็วและมลพิษน้ำมันต่ำ

ความเร็วในการสูบสามารถเพิ่มได้โดยการเพิ่มไนโตรเจนเหลวกับดักเย็นลงในตัวเครื่อง เต้าเสียบของปั๊มกลมีพร้อมกับกับดักน้ำเย็นเพื่อป้องกันไม่ให้ไอน้ำมันเข้าสู่ระบบ

(3) หน่วยสุญญากาศที่ไม่มีน้ำมันเป็นพิเศษ

หน่วยสูญญากาศที่ไม่ใช้น้ำมันเพื่อให้ของเหลวทำงานและไม่ติดกับสารอินทรีย์เรียกว่าหน่วยสูญญากาศซุปเปอร์สูงโดยไม่ใช้น้ำมัน เครื่องสูบน้ำหลักที่ใช้ทั่วไป ได้แก่ ปั๊มไครโยจีนิกปั๊มไททาเนียมปั้มไอออนเป็นต้นเมื่อเทียบกับชุดสูญญากาศน้ำมันมีข้อดีดังต่อไปนี้:

สามารถทำความสะอาดสูญญากาศและไม่มีแหล่งมลพิษ

เมื่อมีการเริ่มปั๊มสูญญากาศปราศจากน้ำมันแล้วสามารถแยกเครื่องสูบน้ำล่วงหน้าได้

หากการระบายอากาศหยุดนิ่งระบบจะไม่เป็นมลพิษ

ไม่มีน้ำมันไม่มีเสียงและไม่มีการสั่นสะเทือนซึ่งช่วยเพิ่มสภาพแวดล้อมการทำงาน

ระดับสูญญากาศของเทอร์มินัลสูงมากความเร็วในการสูบน้ำสูงและเวลาในการสูบน้ำสั้น