องค์ประกอบควบคุมการไหลของก๊าซสุญญากาศ

หลักการควบคุมการไหลของก๊าซสุญญากาศโดยหลักการแล้วตัวควบคุมสูญญากาศแบบแมนนวลทั่วไปพร้อมมอเตอร์ควบคุมที่เหมาะสม (เช่นเซอร์โวมอเตอร์สเต็ปปิ้งมอเตอร์ ฯลฯ ) หรือกระบอกไฮดรอลิกโดยการปรับสัญญาณควบคุมของมอเตอร์ควบคุมหรือกระบอกไฮดรอลิกมอเตอร์ควบคุมหรือ การเคลื่อนที่ของกระบอกสูบไฮดรอลิกและเปลี่ยนสภาพการนำการไหลของวาล์วสูญญากาศจากนั้นเปลี่ยนการไหลของก๊าซผ่านวาล์วสูญญากาศทำระดับสุญญากาศของห้องสุญญากาศในอุปกรณ์สูญญากาศที่ปรับอัตโนมัติ อย่างไรก็ตามในปัจจุบันมีวาล์วควบคุมการไหลของก๊าซสูญญากาศเพียงสามชนิดที่ผลิตโดยผู้ผลิตเครื่องมือสูญญากาศในประเทศจีน ได้แก่ วาล์วควบคุมการไหลของแม่เหล็กไฟฟ้าวาล์วมิเตอร์มวลและวาล์วควบคุมการไหลแบบเพียโซอิเล็กทริกและอุปกรณ์ควบคุมความดันในประเทศส่วนใหญ่เลือกวาล์วเพียโซอิเล็กทริกเป็นก๊าซสูญญากาศ องค์ประกอบการควบคุมการไหล Piezoelectric Valve เป็นวาล์วควบคุมการไหลของก๊าซสูญญากาศที่ทำจากผลของเพียโซอิเล็กทริก แกนกลางของวาล์วเพียโซอิเล็กทริกคือไดอะแฟรมเพียโซอิเล็กทริกที่ทำจากเซรามิกเพียโซอิเล็กทริก เมื่อใช้แรงดันไฟฟ้าควบคุมกับเมมเบรนเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกจะทำให้เกิดการเสียรูปตามสัดส่วนของค่าแรงดันไฟฟ้าที่ใช้ ในขณะเดียวกันให้ขับปะเก็นให้เคลื่อนที่ จากนั้นแนวทางการไหลของวาล์วเพียโซอิเล็กทริกจะเปลี่ยนไปจึงเปลี่ยนการไหลของก๊าซผ่านวาล์วเพียโซอิเล็กทริก เมื่อไม่ใช้แรงดันไฟฟ้าควบคุมกับไดอะแฟรมเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกแรงเชิงกลของสปริง ACTS บนไดอะแฟรมเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกและปะเก็นซีลเพื่อให้ทางเดินอากาศของวาล์วเพียโซอิเล็กทริกปิด ดังนั้นการไหลของก๊าซผ่านวาล์วเพียโซอิเล็กทริกสามารถเปลี่ยนแปลงได้โดยการเปลี่ยนขนาดของแรงดันไฟฟ้าควบคุมที่ใช้กับไดอะแฟรมเซรามิกเพียโซอิเล็กทริก ดังนั้นจึงสามารถปรับระดับสูญญากาศในห้องสุญญากาศของอุปกรณ์สูญญากาศได้

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, mahcine เคลือบด้วยแสง, สายการผลิตสูญญากาศ PVD ติดต่อเราตอนนี้ E-mail: iks.pvd@foxmail.com