เทคโนโลยีการสะสมไอ
Oct 21, 2022| เทคโนโลยีการสะสมไอ
เทคโนโลยีการเคลือบด้วยไอเป็นเทคโนโลยีการเคลือบแบบใหม่ที่สารไอระเหยที่มีองค์ประกอบที่เกาะอยู่จะถูกสะสมบนพื้นผิววัสดุด้วยวิธีทางกายภาพหรือทางเคมีเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ตามหลักการต่างๆ ของกระบวนการสะสม เทคโนโลยีการสะสมไอระเหยสามารถแบ่งออกเป็นสองประเภท: การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) และการสะสมไอเคมี (CVD) การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) หมายถึงเทคโนโลยีการทำให้วัสดุกลายเป็นไอกลายเป็นอะตอมและโมเลกุล หรือทำให้ไอออไนซ์เป็นไอออนโดยวิธีทางกายภาพภายใต้สภาวะสุญญากาศ และเคลือบฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิวของวัสดุผ่านกระบวนการเฟสไอ เทคโนโลยีการสะสมทางกายภาพส่วนใหญ่ประกอบด้วยวิธีการพื้นฐาน 3 วิธี ได้แก่ การระเหยด้วยสุญญากาศ การสปัตเตอร์ และการชุบไอออน การระเหยด้วยสุญญากาศเป็นวิธีการที่วัสดุขึ้นรูปฟิล์มถูกทำให้เป็นไอหรือระเหิดและสะสมบนพื้นผิวชิ้นงานเพื่อสร้างฟิล์ม ตามจุดหลอมเหลวที่แตกต่างกันของวัสดุระเหย วิธีการให้ความร้อนมีความร้อนแบบต้านทาน การให้ความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอน การให้ความร้อนด้วยเลเซอร์ และอื่น ๆ ลักษณะเฉพาะของการระเหยในสุญญากาศเป็นอุปกรณ์ กระบวนการ และการใช้งานที่เรียบง่าย แต่เนื่องจากพลังงานจลน์ต่ำของอนุภาคที่กลายเป็นไอ แรงยึดเกาะของสารเคลือบและสารตั้งต้นจึงอ่อนแอ และการเคลือบหลวม ดังนั้นความต้านทานแรงกระแทกและความต้านทานการสึกหรอจึงไม่สูง . การชุบสปัตเตอร์เป็นวิธีการทำให้ก๊าซอาร์กอนแตกตัวเป็นไอออนโดยการปล่อยสารเรืองแสงภายใต้สุญญากาศ และไอออนของอาร์กอนที่สร้างขึ้นจะโจมตีแคโทดด้วยความเร่งภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า และอนุภาคสปัตเตอร์จะสะสมบนพื้นผิวของชิ้นงานเพื่อสร้างฟิล์ม . ข้อดีของมันคือพลังงานจลน์สูงของอนุภาคแก๊สซิฟิเคชัน วัสดุที่ใช้งานได้หลากหลาย (รวมถึงวัสดุเมทริกซ์และวัสดุเคลือบผิว) และความสามารถในการชุบที่ดี แต่อัตราการสะสมตัวช้าเป็นอุปกรณ์ราคาแพง การเคลือบผิวด้วยไอออนเป็นวิธีการไอออไนซ์ส่วนปรมาณูที่ระเหยกลายเป็นไอออนโดยเทคโนโลยีการปล่อยก๊าซภายใต้สุญญากาศ และสะสมอนุภาคที่เป็นกลางพลังงานสูงจำนวนมากไว้บนพื้นผิวของชิ้นงานเพื่อสร้างฟิล์ม มีลักษณะพิเศษคือคุณภาพของการเคลือบผิวสูง การยึดเกาะที่แข็งแรง ความสามารถในการชุบที่ดี และความเร็วในการเคลือบที่รวดเร็ว แต่มีข้อเสียบางประการ เช่น อุปกรณ์ที่ซับซ้อนและมีราคาแพง การสะสมไอทางกายภาพมีวัสดุเมทริกซ์และวัสดุฟิล์มที่หลากหลาย กระบวนการที่เรียบง่าย ประหยัดวัสดุ และปราศจากมลพิษ ได้รับข้อดีของการยึดเกาะที่แข็งแรง ความหนาสม่ำเสมอ ความหนาแน่น และรูเข็มน้อยลง มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในเครื่องจักร การบินและอวกาศ อิเล็กทรอนิกส์ เลนส์ อุตสาหกรรมเบา และสาขาอื่นๆ เพื่อเตรียมฟิล์มที่ทนทานต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน ทนความร้อน นำไฟฟ้า ฉนวน ออปติก แม่เหล็ก เพียโซอิเล็กทริก และฟิล์มตัวนำยิ่งยวดแบบเรียบ

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ E-mail:iks.pvd@foxmail.com


