- การแนะนำสินค้า
IKS-VH1300 เครื่องเคลือบฟิล์มเคลือบฟิล์มต่อเนื่อง
การประยุกต์ใช้อุปกรณ์
การเคลือบผิวด้วยอิเลคตรอนแบบ multi-arc และการเคลือบด้วย magnetron spattering.IKS-VH1300 เครื่องเคลือบผิวฟิล์มเคลือบผิวแบบต่อเนื่อง ซึ่ง ออกแบบมาสำหรับการผลิตแผ่นฟิล์มตกแต่งพื้นผิวอย่างรวดเร็วและมีเสถียรภาพ เครื่องนี้เป็นเครื่องชุบฟิล์มหลายช่องแบบแนวตั้งโดยมีการขนถ่ายอย่างต่อเนื่อง เป็นระบบการเคลือบผิวที่ต่อเนื่องโดยใช้แหล่งสปัตเตอร์แบบหลายหัวและแหล่งกำเนิดสปัตเตอริง magnetron ผลิตภัณฑ์หลักของอุปกรณ์นี้คือพื้นผิวเคลือบบนวัสดุรองพื้นเช่นสแตนเลส PC PET แก้ว ฯลฯ ตัวอย่างเช่น TiC (สีดำ) TiN (สีเหลืองทอง), TiCN (สีฟ้าเทา), CrN (Silver- เทา), TiAlN ( ผักโขม
), AlTiN (atropurpureus), TiAlCrN (สีเทา), TiAlCrN (ดอกกุหลาบแดง) และ AlCrN (สีเทาดำ)
การออกแบบสายการผลิต
เครื่องเคลือบผิวเคลือบฟิล์มแบบต่อเนื่องที่กำหนดค่าด้วยชิ้นส่วนห้องกระบวนการอิสระ (อย่างน้อย 3 ชิ้นต่อห้อง) เพื่อให้เกิดการผลิตมวลอย่างรวดเร็วและมีเสถียรภาพ ตามความต้องการของกระบวนการห้องห้องทุกห้องจะเสร็จสิ้นกระบวนการอิสระ
มันเป็นบุญธรรมการออกแบบของผู้ถือ substrate อิสระมาในและนอกห้องแยกสุญญากาศโดยวาล์วแยกอิสระระบบส่งต่ออัตโนมัติถาดส่งอย่างต่อเนื่อง การเคลือบผิวทำได้โดยอัตโนมัติโดยระบบควบคุม
มีระบบสูญญากาศพร้อมตัวยึดวัสดุที่เป็นอิสระเข้า / ออกจากห้องและห้องเคลือบเพื่อความมั่นใจในกระบวนการและความสะอาดของพื้นผิวทั้งในและนอกอาคาร
ลักษณะทางเทคนิค
1. การใช้งาน: อัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติและใช้งานง่าย | ควบคุม 7.Temreture: ห้อง -300 ℃ |
2. จังหวะของการต่อเข้าขาเข้าของชิ้นงาน: ช่วงเวลาน้อยกว่า 2 นาที | 8. ทำความสะอาด: ทำความสะอาดด้วยรังสี |
3.Sputtering แหล่งที่มา: 6 ชุด Multi-Arc sputtering system | 9. ความร้อน: ท่อความร้อนที่หุ้มไว้เพื่อให้ความร้อน ความร้อนที่สำรองไว้ 12pcs ของ 1.5kw ทุกห้อง |
4.Sputtering แหล่งที่มา: 8 ชิ้น sputtering กระบอกสูบแคโทด | 10. แกนหมุน: มีตัวหมุน 10 แกนและหัวจับการหมุน |
5. ฟิล์มเคลือบผิว: วางแผ่นฟิล์มเคลือบผิวบนพื้นผิวของสแตนเลส, PC, PET, แก้ว ฯลฯ | 11. การควบคุมกระบวนการ: ซอฟต์แวร์จะสร้างพารามิเตอร์ควบคุมควบคุมโดย PLC |
เครื่องดูดฝุ่น: ปั๊ม Melecolure + ปั๊มราก + ปั๊มโรตารี่ใบพัด |
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
1. พื้นที่ติดตั้งที่มีประสิทธิภาพ : W4200 × L8000 × H4600mm | 8. การรักษา: 12 ชิ้นความร้อน 4.5 กิโลวัตต์, ห้องที่ 1 |
2. ห้องสุญญากาศ : W1300 × L1300 × H1500mm | 9. ขั้นตอนการรักษา: การวัดการไหลของ บรรยากาศการ หลอมเหลว |
3. การสั่งซื้อ : การหมุน 10 แกนФ150 × H890mm | 10.Vacuum Isolation: วาล์ว Slit, W720 × H1100 |
4.Multi-Arc แหล่งที่มา: 6 × Ф 100 แหล่งที่มาหลาย arc, ห้องที่ 1 | 11. แหล่งที่มาของแหล่งที่มา: 380V 50Hz |
5.Sputtering: 8 × Ф 70 กระบอกแคโทดห้องที่ 2 | 12. การรักษาความปลอดภัย: บานพับประตูบานพับด้านหน้าและด้านหลัง |
6. เครื่องดูดฝุ่น: ATM-6X10-4 Pa | 13. ระบบสูญญากาศ: ปั๊มโรตารี, ปั้มโมเลกุลและวาล์ว Slit |
การทำความสะอาดไอออน: การทำความสะอาดไฟฟ้าแบบ Bias ในห้องที่ 1 |
แนะนำโครงสร้างอุปกรณ์
| อุปกรณ์ประกอบด้วยส่วนของกระบวนการบางอย่างเช่นห้องสุญญากาศกลุ่มเครื่องสูบสูญญากาศการใช้งานชั้นวางของกระบวนการเคลือบการปรับสภาพและหลังการบำบัด |
( 1 ) หอที่เข้าออกและวาง
เป็นห้องประเภทกล่องขนาดภายนอกคือ W1300 × L1300 × H1500mm ใช้แผ่นเหล็กกล้าไร้สนิม SUS304 ขนาด 25 มม. เพื่อเพิ่มความแข็งแรงในการเชื่อมและลดความเครียดด้วยการอบอ่อน ออกแบบ ประตูหน้าและหลังการบำรุงรักษาด้านบนเป็นตำแหน่งการติดตั้งกระบวนการด้านล่างสำหรับการติดตั้งระบบสูบน้ำด้านซ้ายและด้านขวาจะแยกสุญญากาศ ด้านในของห้องสามารถติดตั้งได้ด้วยความร้อนการเคลือบผิวแบบหลายชั้นและการทำความสะอาดจากหลอดฟลูออเรสเซนต์ ฯลฯ ตามความต้องการของกระบวนการ บรรยากาศเชื่อมต่อกับห้องโดย วาล์วเปิดกว้าง W720 × H1100mm ระบบสุญญากาศประกอบด้วย 4sets DN200 slit valve, 4 สูบ FF200 / 1300 โมเลกุล FF200 / 1300 และปั๊มแรงเหวี่ยง BSV90 1pc เป็นเครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง, 1pc ZJP300 และ 1pc 2X-70 เป็นเครื่องสูบน้ำหน้าเวที
( 2 ) ที่ ยึดฐานรองทางเข้าด้านหน้า
ห้องสูญญากาศแบบสแควร์ ( Weld water cooling on outer wall ) ขนาด W1300 × L1300 × H1500mm แผงล่างออกแบบ DN200 slit valve เพื่อเชื่อมต่อกับปั๊มโมเลกุลเพื่อสูบน้ำ ระบบสูบน้ำประกอบด้วย 4pcs FF200 / 1300 เครื่องสูบน้ำโมเลกุลและ 1pc BSV90 ทั้งสองด้านของห้องเชื่อมต่อกับห้องผู้ถือขาเข้าโดยการตัดวาล์ว, แผงด้านหน้าติดตั้งประตูการบำรุงรักษาใช้ SUS304 กับ 3pcs หน้าต่างการตรวจสอบ ผนังด้านในของห้องติดตั้งบอร์ดกระจกเงาสองชั้นและคณะกรรมการป้องกันการเหม็น ระบบการถ่ายโอนข้อมูลด้านล่างที่นำโดยของเหลว magneto, ระบบหมุนเวียนด้วยตนเองระบบทำความร้อนเกราะสี่ชุด ด้านบนออกแบบ 8pcs Ф 70 แคโทดหมุนสำหรับเป้าหมายถังสงวน 12pcs 1.5KW ร้อนติดตั้งหลุม ผนังด้านข้างของห้องได้รับการออกแบบระบบเครื่องดูดอากาศแบบสม่ำเสมอเครื่องวัดอัตราการไหลสองเครื่องเชื่อมต่อกับห้องโดยถังผสมแก๊สปรับระดับการเคลือบสูญญากาศโดยการควบคุมการไหล
ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องเคลือบผิวเหล็กกล้าไร้สนิมชนิดต่อเนื่อง, ประเทศจีน, ผู้ผลิต, ผู้จำหน่าย, จำหน่าย, made in China
