ห้องสุญญากาศสำหรับการเคลือบ DLC

รายการ

ค่า

ชื่อสินค้า

ห้องสุญญากาศสำหรับการเคลือบ DLC

เตาสุญญากาศ

กล้องสุญญากาศ

วัสดุ

สแตนเลส 304 / 316L

ขนาดมาตรฐาน

Φ1100×1300 / Φ1300×1300 แปดเหลี่ยม / Φ1000×1100 มม.

สุดยอดสุญญากาศ

5×10⁻⁴ ป่า

เวลาปั๊ม

น้อยกว่าหรือเท่ากับ 30 นาที (Atm ถึง 5×10⁻³ Pa)

การรักษาพื้นผิว

การขัดเงาด้วยไฟฟ้าผนังด้านใน (Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.4 μm)

วิธีการทำความเย็น

ระบายความร้อนด้วยน้ำ

การกำหนดค่าแหล่งที่มา

แหล่งกำเนิดอาร์ค 4–6 จุด เป้าหมายแมกนีตรอน 2–4 จุด

โครงสร้าง

ประตูเดี่ยว/คู่แนวตั้ง

กระบวนการที่ใช้บังคับ

การเคลือบ DLC

ข้อดีของผลิตภัณฑ์

สุญญากาศสูงพิเศษ-เพื่อ- DLC คุณภาพสูง

การออกแบบแปดเหลี่ยมเพื่อความสม่ำเสมอที่ดีขึ้น

ไม่มีมุมตาย ทำความสะอาดง่าย

การปิดผนึกและเสถียรภาพที่ดีเยี่ยม

รองรับ DLC แบบเต็ม-

ปรับแต่งได้

ใช่