อุปกรณ์เคลือบผิว

อุปกรณ์เคลือบที่ทันสมัยประกอบไปด้วยห้องสุญญากาศส่วนการดูดสูญญากาศส่วนการตรวจวัดสูญญากาศชิ้นส่วนจ่ายไฟระบบป้อนก๊าซของกระบวนการชิ้นส่วนการส่งผ่านทางกลหน่วยวัดความร้อนและอุณหภูมิการระเหยไอออนิกหรือการสปัตเตอร์และระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ

1. ห้องสุญญากาศ

อุปกรณ์เคลือบส่วนใหญ่มีสายการผลิตเคลือบอย่างต่อเนื่องและเครื่องเคลือบห้องเดียวในสองรูปแบบเนื่องจากการเคลือบแม่พิมพ์มีความต้องการสูงสำหรับความร้อนและชิ้นส่วนเกียร์และรูปร่างแม่พิมพ์ขนาดแตกต่างกันอย่างต่อเนื่องสายการผลิตเคลือบมักจะยาก เพื่อตอบสนองความต้องการที่จะใช้เครื่องเคลือบห้องเดียว

2. ชิ้นส่วนรับสูญญากาศ

เนื่องจากความต้องการการยึดเกาะที่สูงของการเคลือบผิวของชิ้นส่วนแม่พิมพ์กระบวนการเคลือบผิวก่อนที่จะสูญญากาศพื้นหลังจะมีค่ามากกว่า 6mPa และระดับความเป็นสูญญากาศสามารถเข้าถึง 0.06mPa หรือมากกว่าหลังจากกระบวนการเคลือบเสร็จสิ้นเพื่อให้มีการเลือกสูญญากาศ อย่างถูกต้องเพื่อให้บรรลุระดับสูงของสูญญากาศเป็นสิ่งสำคัญ

จนถึงขณะนี้ยังไม่มีปั๊มที่สามารถทำงานได้จากความดันบรรยากาศใกล้กับสูญญากาศสูงมาก ดังนั้นการได้มาของสูญญากาศไม่ได้เป็นอุปกรณ์สุญญากาศและวิธีการสามารถทำได้ก็จะต้องรวมกับปั๊มหลายเช่นปั๊มกล, ระบบปั๊มโมเลกุล ฯลฯ

3. ส่วนวัดสูญญากาศ

ส่วนการวัดสูญญากาศของระบบสูญญากาศคือการวัดความดันในห้องสุญญากาศ เช่นเดียวกับปั๊มสุญญากาศไม่มีเครื่องวัดสูญญากาศสามารถวัดช่วงทั้งหมดของสูญญากาศและเครื่องวัดสูญญากาศหลายชนิดทำตามหลักการและความต้องการที่แตกต่างกัน

4. ส่วนของแหล่งจ่ายไฟ

แหล่งจ่ายไฟเป้าหมายส่วนใหญ่จะรวมถึงแหล่งจ่ายไฟ DC และแหล่งจ่ายไฟความถี่ปานกลาง ชิ้นงานเองมักต้องการแหล่งจ่ายไฟ DC, แหล่งจ่ายไฟชีพจรหรือแหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุ

5. ประมวลผลระบบนำเข้าก๊าซ

ก๊าซกระบวนการเช่นอาร์กอน (Ar), คริปทอน (Kr), ไนโตรเจน (N ₂ ), อะเซทิลีน (C ₂ H ₂ ), มีเทน (CH ₄ ), ไฮโดรเจน (H ₂ ) และออกซิเจน (O ₂ ) โดยทั่วไปคือ จัดส่งโดยถังแก๊สและผ่านเข้าไปในห้องสุญญากาศผ่านวาล์วลดความดันก๊าซวาล์วโลกท่อมิเตอร์วัดก๊าซวาล์ว piezoelectric วาล์วขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้า

ข้อดีของระบบป้อนก๊าซนี้คือท่อเป็นเรื่องง่ายน้ำหนักเบาและง่ายต่อการซ่อมแซมหรือเปลี่ยนถัง เครื่องเคลือบแต่ละชิ้นไม่มีผลกระทบต่อกันและกันและยังมีเครื่องเคลือบสีจำนวนหนึ่งซึ่งแบ่งกลุ่มถังซึ่งอาจใช้ในการฝึกอบรมการเคลือบผิวที่มีขนาดใหญ่ มันมีข้อดีของการลดปริมาณของถังก๊าซแบบครบวงจรการวางแผนแบบครบวงจรและข้อเสียคือโอกาสของการรั่วไหลของก๊าซจะเพิ่มขึ้นเนื่องจากการเพิ่มขึ้นของข้อต่อ

เครื่องเคลือบผิวแต่ละเครื่องจะแทรกแซงซึ่งกันและกันและการรั่วซึมของเครื่องเคลือบอาจส่งผลต่อคุณภาพของเครื่องเคลือบผิวอื่น ๆ นอกจากนี้เมื่อเปลี่ยนกระบอกสูบต้องแน่ใจว่าไม่ได้ใช้ชุดหลักทั้งหมด

6. ส่วนเกียร์ธรรมดา

การเคลือบด้วยเครื่องมือต้องมีความหนาเท่ากันดังนั้นจึงต้องมีการหมุนสามครั้งในกระบวนการเคลือบเพื่อให้เป็นไปตามความต้องการ นั่นคือในขณะที่จำเป็นต้องหมุนชิ้นงานขนาดใหญ่เพื่อหมุนชิ้นงานชิ้นเล็ก ๆ ยังหมุนและชิ้นงานสามารถหมุนได้ในเวลาเดียวกัน ในการออกแบบเชิงกลส่วนกลางของจานเสียงมักเป็นเกียร์ที่ใช้งานขนาดใหญ่ซึ่งล้อมรอบด้วยล้อดาวขนาดเล็กบางส่วนจากนั้นจึงใช้ส้อมเพื่อหมุนชิ้นงานเพื่อหมุน

7. เครื่องวัดความร้อนและอุณหภูมิ

เมื่อกระบวนการเคลือบแม่พิมพ์เพื่อให้แน่ใจว่าชิ้นงานเคลือบถูกให้ความร้อนสม่ำเสมอเป็นสำคัญมากขึ้นกว่าการทำความร้อนเคลือบตกแต่ง อุปกรณ์เคลือบแม่พิมพ์โดยทั่วไปมีเครื่องทำความร้อนสองตัว, การวัดและควบคุมอุณหภูมิของเทอร์โมคัปเปิล เนื่องจากการติดตั้งเทอร์โมคัปเปิลสำหรับการตั้งค่าต่างๆการอ่านค่าอุณหภูมิไม่สามารถเป็นอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานได้ ในการวัดอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานสามารถใช้เครื่องวัดอุณหภูมิพื้นผิว (Surface Thermomeer) ได้ หลักการของเครื่องวัดอุณหภูมิคือเมื่อเทอร์โมมิเตอร์อุ่นที่ด้านล่างของสปริงจะอุ่นเพื่อขยายตัวเพื่อให้ตัวชี้เพื่อเลื่อนตัวหมุนตำแหน่งตำแหน่งไปจนถึงอุณหภูมิสูงสุด เมื่อตัวระบายความร้อนฤดูใบไม้ผลิหดตัวและตัวชี้หมุนกลับ แต่ตัวชี้ตำแหน่งอยู่ที่อุณหภูมิสูงสุดและอุณหภูมิของตัวชี้จะถูกอ่านหลังจากเปิดประตูห้องสูญญากาศเมื่อห้องสุญญากาศถูกให้ความร้อนตำแหน่งของเทอร์โมมิเตอร์พื้นผิว มีค่าอุณหภูมิสูงสุดแล้ว

8. การระเหยไอออนิกหรือการสปัตเตอร์

การระเหยแหล่งชุบหลายโค้งโดยทั่วไปเป็นวงกลมหรือที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นเป้าหมายเค้กกลมในปีที่ผ่านมามีหลายเป้าหมายสี่เหลี่ยมผืนผ้าหลายโค้ง แต่ไม่มีผลที่เห็นได้ชัด เป้าหมายเค้กกลมติดตั้งอยู่บนที่นั่งเป้าหมายทองแดง (ที่นั่งแคโทด) ซึ่งทั้งสองอย่างนี้เชื่อมต่อด้วยซี่โครง ที่นั่งเป้าหมายมีแม่เหล็กโดยการเลื่อนแม่เหล็กไปมาการเปลี่ยนความแรงของสนามแม่เหล็กความเร็วในการเคลื่อนย้ายจุดปรับและความเร็วในการเคลื่อนที่ เพื่อลดอุณหภูมิของเป้าหมายและที่ยึดเป้าหมายควรให้น้ำหล่อเย็นแก่ผู้ถือเป้าหมายอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้แน่ใจได้ว่ามีการนำไฟฟ้าและการนำความร้อนสูงระหว่างเป้าหมายกับที่วางเป้าหมายสามารถใส่ปะเก็นดีบุก (Sn) ระหว่างเป้าหมายกับเป้าหมายได้

9. ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ

เพื่อเพิ่มอัตราการเกิดไอออไนซ์ของอะตอมโลหะแต่ละแคโทดจะถูกส่งออกที่กำลังไฟขนาดใหญ่ดังนั้นจึงต้องมีการระบายความร้อนอย่างพอเพียง หลายชนิดของการเคลือบแม่พิมพ์, อุณหภูมิความร้อนเป็น 400 ~ 500 ℃ ดังนั้นบนผนังห้องสุญญากาศเย็นผิวซีลเป็นสิ่งสำคัญมากดังนั้นน้ำระบายความร้อนที่ดีที่สุดที่ใช้ในเครื่องทำน้ำเย็นประมาณ 18 ~ 20 ℃

หลังจากที่ประตูถูกเปิดขึ้นเพื่อป้องกันไม่ให้ผนังห้องสูญญากาศอุณหภูมิต่ำแคโทดเป้าหมายและการเร่งรัดติดต่ออากาศร้อนของน้ำเปิดประตูในช่วง 10 นาทีแรกระบบระบายความร้อนควรเปลี่ยนไปสู่สถานะของน้ำร้อนน้ำร้อน อุณหภูมิประมาณ 40 ~ 45 ℃