ประสิทธิภาพและข้อดีของเครื่องกังหันสูบน้ำโมเลกุล

เทอร์โบปั๊มโมเลกุล คือการใช้การหมุนความเร็วสูงของใบพัดที่เคลื่อนที่การส่งผ่านโมเมนตัมไปโมเลกุลก๊าซ ก๊าซสร้างกระแสทิศทางของการปั๊มสุญญากาศ. โมเลกุลเทอร์โบปั๊มส่วนใหญ่ประกอบ ด้วยตัวปั๊ม ใบพัด ด้วยใบมีด (เช่นเคลื่อนใบพัด), ใบพัดคง และไดรฟ์ระบบ

ประโยชน์

เป็นเทอร์โบปั๊มโมเลกุลในบางแง่มุม มันเป็นสิ่งที่ดีกว่าปั๊ม cryogenic ประสิทธิภาพปั๊มปั๊มและกระจายไอออนเหนือกว่า ดังนั้น ในกรณีทั่วไป ที่เพิ่มเติมใช้ปั๊มเทอร์โบ

ไอน้ำ (1) สะอาด ปราศจากน้ำมันกรดไหลย้อน

เทอร์โบปั๊มโมเลกุลสามารถทำงานโดยไม่ดีใด ๆ และดำเนินการตามกฎการดำเนินการ ซึ่งสามารถให้สภาพแวดล้อมที่สะอาดดูดสำหรับคอนเทนเนอร์ที่สูบ และไม่ประกอบด้วยสารใด ๆ

(2) สะดวกใช้

งาน ปั๊มเทอร์โบอาจไม่ต้องสูงดูดวาล์วหรือวาล์วดูดที่หยาบ เพียงกดปุ่ม ปั๊มสามารถเริ่มทำงาน จากความดันบรรยากาศจะลดลงความดันที่ดีที่สุด ระบบสามารถหยาบสูบ โดยปั๊มเทอร์โบระดับโมเลกุล และสามารถเร่งถึงความเร็วในการทำงาน นี่ eliminates จำเป็นสำหรับดัก ท่อ วาล์ว วาล์วควบคุมและส่วนประกอบอื่น ๆ ดูด นอกจากนี้มันยังช่วยขจัดความล้มเหลวของส่วนประกอบเหล่านี้

(3) กำลังขนส่งแก๊สแข็งแรง

ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบส่วนใหญ่มีความแข็งแกร่งเพื่อให้แก๊สที่เบาเช่นไฮโดรเจนและฮีเลียม เหมาะสำหรับกระบวนการดำเนินงานภายใต้สุญญากาศสูง ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบออกแบบมาสำหรับการกำจัดก๊าซกัดกร่อนเหมาะสำหรับแกะสลัก แกะสลักไอออนปฏิกิริยา เครื่องจักรลำแสงไอออน สะสมไอสารเคมีความดันต่ำ กระบวนการฝังไอออนและ epitaxy ในระหว่างกระบวนการ แก๊สเจาะสามารถกัดกร่อน cryogenic ปั๊ม ปั๊มไอออน แพร่ปั๊มน้ำมัน และแม้กระทั่งทำลายปั๊มเทอร์โบมาตรฐานป้องกันโมเลกุล เป็นปั๊มเทอร์โบโมเลกุลเป็นของปั๊มส่ง สูบก๊าซจะไม่สะสมในปั๊ม ดังนั้นจึงเหมาะสมสำหรับกระบวนการของก๊าซสูงโหลด

(4) เหมาะสำหรับงานดูดสูงเป็นพิเศษ

ปั๊มเทอร์โบดีโมเลกุลสำหรับการปิดผนึก และ degassing มีสองเวทีปั๊มโรตารี่มีประสิทธิภาพดี (หรือเดียวกันประสิทธิภาพแห้งก่อนปั๊ม) เครื่องดูดฝุ่นที่ดีที่สุดสามารถเข้าถึง 10^-910^-10ธอร์ (133.3 13.33 nPa) ถ้าปั๊มเทอร์โบโมเลกุลกับปั๊มเทอร์โบโมเลกุลอื่นที่ใช้ปั๊มแบบโลหะที่ปิดสนิท และ degassed ดี ความดันสูงสุดคือ 1 × 10^-101 × 10^-11ธอร์ (13.33 1.333 nPa) ระหว่าง และต่างจากปั๊ม cryogenic หรือไอออนปั๊ม เทอร์โบโมเลกุลปั๊มทำงานที่ความเร็วเต็มสูบน้ำภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง

(5) ดีประสิทธิภาพการทำงานภายใต้แรงดันสูง

ความดันทางเข้าของปั๊มบางโมเลกุลเทอร์โบสามารถวิ่งระหว่าง 10^-1และ 10^-3ธอร์ (13.33 Pa กับ 133.3 mPa) ในช่วงนี้ความดัน ไอออนปั๊ม นำ ปั๊ม cryogenic ต้องเค้นความเร็วปั๊มหรือฟื้นฟูปกติ และการทำงานของปั๊มแพร่จะไม่เสถียร

(6) สั้นรอบเวลา

ส่วนเทอร์โบโมเลกุลใหญ่ปั๊ม หนึ่งเล็กโดยเฉพาะอย่างยิ่ง มักจะต้อง 1 ~ 3 นาทีถึงวิ่งเร็วกว่าปกติ ปั๊มสำหรับประเภทและรูปแบบแตกต่าง และสามารถปิดลงทันที และสามารถสัมผัสกับบรรยากาศ

(7) ปกติใช้เวลานาน

ในโปรแกรมประยุกต์บางโปรแกรม เวลาใช้งานปกติของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลได้ดีกว่าปั๊มอื่น ๆ เพราะโหลดหนักก๊าซและวาล์ว รั่ว จะทำให้เกิดการฟื้นฟูช่วงที่มักจะแปร cryogenic ปั๊ม หรือปั๊มไอออนมักซ่อมแซม และโมเลกุลเทอร์โบปั๊มยังสามารถใช้เพื่อกำจัดการปนเปื้อนน้ำมันปั๊มของห้องสุญญากาศ