ผลของการเคลือบ PVD กระบวนการเคลือบบนความหนาของการเคลือบผิว

Mar 26, 2018|

สิ่งที่สำคัญที่สุดในกระบวนการเคลือบ PVD คือวิธีการหนีบซึ่งจะเป็นตัวกำหนดความหนาและความสม่ำเสมอของสีเคลือบ และไม่ต้องสงสัยเลยว่าความหนาของผิวเคลือบจะมีผลต่ออายุการใช้งาน อย่างไรก็ตามไม่เคลือบผิวที่หนาขึ้นทำให้อายุขัยของมันดีขึ้น ชิ้นงานชิ้นเดียวกันต้องมีความหนาแตกต่างกัน ชิ้นงานที่แตกต่างกันก็ต้องมีความหนาต่างกัน ดังนั้นการควบคุมความหนาของชั้นเคลือบจึงมีความสำคัญ


ความหนาของผิวเคลือบส่วนใหญ่จะขึ้นอยู่กับขั้นตอนการเคลือบผิว ขั้นตอนบางอย่างมีช่วงความหนาของเคลือบบางอย่างและความหนาของผิวเคลือบจะแตกต่างกันไปในช่วงนี้ อย่างไรก็ตามวิธีการหนีบของชิ้นงานยังส่งผลต่อความหนาของผิวเคลือบ ภายใต้การหนีบที่ไม่เหมาะสมความหนาของผิวเคลือบจะเกินช่วงที่กำหนดโดยโปรแกรม


มิติการหมุนของชิ้นงานมีผลต่อความหนาของผิวเคลือบ ชิ้นงานต้องหมุนในห้องขณะที่เคลือบ มีสามวิธีในการหมุนชิ้นงานคือการหมุนแบบหนึ่งมิติการหมุนสองมิติและการหมุนสามมิติ สำหรับขั้นตอนการเคลือบผิวเดียวกันมิติการหมุนที่มากกว่าการเคลือบทินเนอร์ ความหนาของการสปินสองมิติมีความหนาประมาณ 5 เท่าของการสปินสามมิติและความหนาของการสปินแบบหมุนด้านเดียวจะมีความหนาประมาณ 1.5 เท่าของการสปินสองมิติ สมมติว่าความหนาของการเคลือบสามมิติหมุนเป็น 2um แล้วความหนาของการเคลือบชิ้นงานหมุนสองมิติประมาณ 3um ในขณะที่ความหนาของการเคลือบหมุนหมุนเดียวสามารถเข้าถึง 4.5um หรือมากกว่า


เมื่อยึดชิ้นงานความหนาแน่นของชิ้นงานยังมีผลต่อความหนาของผิวเคลือบ ความหนาของผิวของชิ้นงานที่ยึดแน่นหนามีขนาดเล็กและความหนาของผิวของชิ้นงานที่มีการบีบอัดแน่นดี


blob.png


ภาพด้านบนแสดงการกระจายความหนาของการเคลือบบนฟันเดี่ยวของแผ่น ภาพด้านล่างแสดงการกระจายความหนาของผิวเคลือบที่ตำแหน่งต่างๆของสว่าน


blob.png


ดังนั้นจึงสามารถมองเห็นได้ว่าความหนาของชิ้นส่วนต่างๆของเครื่องมือได้รับผลกระทบอย่างมากจากการหนีบดังนั้นเราจึงต้องกำหนดวิธีการหนีบยึดตามประสบการณ์


ส่งคำถาม