PECVD-ความกดอากาศ
Jul 09, 2023| เมื่อพลาสมาก่อตัวขึ้น ความดันแก๊สจะมากเกินไป แก๊สปฏิกิริยาในหน่วยจะเพิ่มขึ้น อัตราจึงเพิ่มขึ้น แต่ในขณะเดียวกัน ความดันอากาศสูงเกินไป เส้นทางอิสระเฉลี่ยจะลดลง ซึ่งไม่เอื้อต่อ ความครอบคลุมของฟิล์มเคลือบบนขั้นบันได ความกดอากาศต่ำเกินไปจะส่งผลต่อกลไกการสะสมตัวของฟิล์ม ส่งผลให้ความหนาแน่นของฟิล์มลดลงและเกิดรอยเข็มได้ง่าย เมื่อความดันอากาศสูงเกินไป ปฏิกิริยาพอลิเมอไรเซชันของพลาสมาจะเพิ่มขึ้นอย่างเห็นได้ชัด ส่งผลให้ความสม่ำเสมอของเครือข่ายการเติบโตลดลงและข้อบกพร่องเพิ่มขึ้น
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com
←
คู่ของ: อุณหภูมิพื้นผิว PECVD
ส่งคำถาม