อุณหภูมิพื้นผิว PECVD

อิทธิพลของอุณหภูมิพื้นผิวที่มีต่อคุณภาพของฟิล์มส่วนใหญ่อยู่ที่ความหนาแน่นของสภาพท้องถิ่น การเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอน และคุณสมบัติทางแสงของฟิล์ม การเพิ่มอุณหภูมิของพื้นผิวจะเป็นประโยชน์ต่อการชดเชยพันธะแขวนลอยบนพื้นผิวของฟิล์ม และความหนาแน่นของข้อบกพร่องของฟิล์มจะลดลง

อุณหภูมิของพื้นผิวมีผลเพียงเล็กน้อยต่ออัตราการสะสม แต่มีผลอย่างมากต่อคุณภาพของฟิล์ม อุณหภูมิที่สูงขึ้น ความหนาแน่นของชั้นฟิล์มที่ทับถมมากขึ้น อุณหภูมิที่สูงขึ้นจะช่วยเพิ่มปฏิกิริยาที่พื้นผิวและปรับปรุงองค์ประกอบของฟิล์ม

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com