สาเหตุของความไม่สม่ำเสมอของการเคลือบด้วยแม๊กเน็ทรอน

ไม่ว่าจะเป็นเครื่องสูญญากาศราคาเท่าไรความสม่ำเสมอของสีเคลือบจะได้รับผลกระทบจากปัจจัยบางประการ

การทำงานของเครื่องเคลือบสุญญากาศ magnetron sputtering คือการทำให้อิเล็กตรอนรุกไอออนอาร์กอนที่เกิดขึ้นจากแก๊สอาร์กอนและกระหน่ำเป้าหมายโดยสนามแม่เหล็กแบบฉากหลังภายใต้สภาวะสูญญากาศและไอออนของเป้าหมายจะถูกวางลงบนพื้นผิวของชิ้นงาน เพื่อเคลือบผิว ดังนั้นเราจึงสามารถพิจารณาได้ว่าสถานะสูญญากาศสนามแม่เหล็กและอาร์กอนมีสามด้านที่เกี่ยวข้องกับความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม

ระบบสุญญากาศจะถูกควบคุมโดยระบบสูบอากาศ ต้องมีการเปิดใช้พอร์ตสูบน้ำในเวลาเดียวกันภายใต้ความแข็งแรงที่สม่ำเสมอเพื่อให้มั่นใจว่ามีความสม่ำเสมอในการสูบน้ำ ถ้าปั๊มไม่สม่ำเสมอความดันในห้องสูญญากาศจะไม่เท่ากันเพราะแรงดันมีอิทธิพลต่อการเคลื่อนที่ของไอออน นอกจากนี้เวลาในการสูบน้ำต้องได้รับการควบคุม สั้นเกินไปจะทำให้สูญญากาศไม่เพียงพอ แต่มันจะเป็นการสูญเปล่าของทรัพยากรถ้ามันยาวเกินไป แต่การมีเครื่องวัดสูญญากาศทำให้จำเป็น

สนามแม่เหล็กทำงานได้แบบ orthogonally แต่ก็เป็นไปไม่ได้ที่ความเข้มสนามแม่เหล็กจะมีความสม่ำเสมอ 100% โดยทั่วไปแล้วที่สนามแม่เหล็กมีความแข็งแรงความหนาของฟิล์มจะมีขนาดใหญ่และในทางกลับกันดังนั้นความหนาของฟิล์มจะไม่สอดคล้องกัน

ความสม่ำเสมอของปริมาณก๊าซอาร์กอนมีผลต่อความสม่ำเสมอของชั้นฟิล์ม หลักการนี้คล้ายกับระดับสูญญากาศ เนื่องจากมีการป้อนก๊าซอาร์กอนความดันในห้องสุญญากาศจะเปลี่ยนไป ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มสามารถควบคุมได้โดยความดันสม่ำเสมอ

แม้ว่าจะมีปัจจัยหลายอย่างที่ก่อให้เกิดความไม่สม่ำเสมอของฟิล์ม แต่อัตราการผ่านของฟิล์มจะสูงมากหากการทำงานที่ถูกต้องของเครื่องเคลือบสูญญากาศเสร็จสิ้น