พารามิเตอร์หลักที่มีผลต่อการสปัตเตอร์

1. เกณฑ์การสเปรย์

ค่าพลังงานขั้นต่ำของไอออนที่เกิดขึ้นซึ่งจำเป็นต่อการพ่นอะตอมเป้าหมายออกไม่เกี่ยวข้องกับชนิดของไอออนที่เกิดขึ้น แต่เกี่ยวข้องกับเป้าหมาย หลังจากที่ปริมาณพลังงานสูงกว่าเกณฑ์การสปัทเทียมอัตราการสปัตเตอร์จะแปรผันกับกำลังสี่เหลี่ยมจัตุรัสของพลังงานไอออนเป็นเวลา 150 EV เมื่อพลังงานไอออนเพิ่มขึ้นและอัตราสปัตเตอร์จะแปรผันตามพลังงานไอออนในช่วง 150 EV ถึง 1Kev ในช่วง 1kev ~ 10kev อัตราการสปัตเตอร์จะเปลี่ยนแปลงเล็กน้อย เมื่อพลังงานเพิ่มขึ้นอีกครั้งการสปัตเตอร์มีแนวโน้มลดลง ต่อไปนี้คือเกณฑ์การสปัตเตอร์ของโลหะหลาย ๆ ที่ถูกทิ้งระเบิดด้วยไอออนที่แตกต่างกัน

2. อัตราการสเปรย์

ค่าสปัตเตอร์หมายถึงค่าเฉลี่ยจำนวนอะตอมต่อไอออนบวกที่สามารถปล่อยออกมาจากเป้าหมายได้เมื่อไอออนที่เกิดขึ้นยิงเป้าหมาย ปัจจัยที่มีผลกระทบส่วนใหญ่ประกอบด้วยประเด็นต่อไปนี้:

◆การสปัตเตอร์จะแสดงให้เห็นถึงช่วงเวลาที่แน่นอนกับการเปลี่ยนแปลงจำนวนอะตอมของเป้าหมาย ด้วยการเพิ่มขึ้นของระดับการเติมอิเล็กตรอนของเปลือกของอะตอมเป้าหมายการสปัตเตอร์จะเพิ่มขึ้น (มีการเปลี่ยนแปลงโดยประมาณ)

◆ผลกระทบของไอออนที่มีต่อผลผลิตของสปัตเตอร์

ผลผลิตของสปัตเตอร์เพิ่มเป็นระยะ ๆ โดยเพิ่มจำนวนอะตอมของเหตุการณ์

การสปัตเตอร์ผลผลิตของเงินทองแดงและแทนทาลัมที่สอดคล้องกับความหลากหลายของไอออนที่เกิดขึ้นจาก 45Kev

ผลกระทบของมุมผลไอออนต่อผลผลิตของสปัตเตอร์

สำหรับไอออนเป้าหมายและเหตุการณ์เดียวกันผลผลิตสปัตเตอร์จะเพิ่มขึ้นเมื่อมุมของไอออนเพิ่มขึ้น เมื่อมุมเพิ่มขึ้นถึง 70 ° ~ 80 °ผลผลิตสปัตเตอร์จะใหญ่ที่สุด ดำเนินการต่อเพื่อเพิ่มมุมของอุบัติการณ์อัตราสปัตเตอร์จะลดลงอย่างรวดเร็วและอัตราการสปัตเตอร์จะอยู่ที่ 0 ที่ 900 °

◆ผลกระทบของอุณหภูมิเป้าหมายต่อผลผลิตของสปัตเตอร์

โดยทั่วไปในช่วงอุณหภูมิที่ผลผลิตของสปัตเตอร์สามารถพิจารณาได้ว่าเกี่ยวข้องกับการระเหิดอย่างมากการสปัตเตอร์จะไม่เปลี่ยนแปลงไปตามอุณหภูมิ ถ้าอุณหภูมิสูงกว่าช่วงนี้อัตราการสปัตเตอร์จะเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว