เครื่องวัดและควบคุมเครื่องสูญญากาศที่เข้ากันได้ CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar
เครื่องวัดแรงดัน INFICON SKY รุ่น CDG045D เป็นทางเลือกที่ดีที่สุดสำหรับการวัดและควบคุมแรงดันทั้งหมด เครื่องวัดแบบ CDG045D สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ที่ 45 ° C เพื่อความเสถียรและความสามารถในการทำซ้ำของสัญญาณที่เหนือกว่า พวกเขามีอยู่สำหรับช่วงเต็มรูปแบบตั้งแต่ 50 mTorr ถึง 1000 Torr ด้วย ...
- การแนะนำสินค้า
บทนำ
เครื่องวัดแรงดัน INFICON SKY CDG045D เป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับการวัดและควบคุมความดันรวมที่แม่นยำสูง เครื่องวัดแบบ CDG045D สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ที่ 45 ° C เพื่อความเสถียรและความสามารถในการทำซ้ำของสัญญาณที่เหนือกว่า สามารถใช้งานได้ตั้งแต่ 50 mTorr ถึง 1000 Torr โดยมีชนิดของหน้าแปลนร่วมกันทั้งหมดและอินเทอร์เฟซ Fieldbus และให้เส้น 0 ถึง 10 V เป็นชนิดก๊าซชนิดอิสระสัญญาณแรงดัน เครื่องวัด manometers ความจุ INFICON ใช้ไดอะแฟรมเซรามิกอลูมินาบริสุทธิ์พิเศษซึ่งเป็นหลักฐานการกัดกร่อน ข้อดีของเซรามิคเซ็นเซอร์มีเสถียรภาพสัญญาณดีขึ้นฟื้นตัวเร็วขึ้นจากบรรยากาศสั้นเวลาอุ่นเครื่องและชีวิตพิเศษ INFICON CDG เป็นเซ็นเซอร์ความดันที่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับการใช้งานที่ต้องการความต้องการ
เครื่องทดสอบไดอะแฟรมแบบ Capacitance Diaphragm INFICON SKY CASY SKY CDX เป็นอุปกรณ์ทดแทนโดยตรงสำหรับเครื่องส่งสัญญาณ Oerlikon Leybold CTR 101 รับต้นฉบับจาก manufacterer ด้วยการสนับสนุนและโซลูชั่นระดับโลกสำหรับแอพพลิเคชันทั้งหมด
ประโยชน์ที่ได้รับ
◆ รองรับการทำงานร่วมกับ CTR 101 transmitters
◆ ลด CoO (ค่าใช้จ่ายในการเป็นเจ้าของ) การอุ่นเครื่องที่เร็วขึ้น 50% การใช้พลังงานที่มีประสิทธิภาพต่ำ
◆ การรวมเข้าด้วยกันได้อย่างง่ายดายหลากหลายขนาดเต็มรูปแบบครีบและอินเทอร์เฟซมาตรฐานที่มีจุดตั้งสองจุด
◆ปุ Easy มกดเดียวหรือปุ remote มกดสัญญาณจากระยะไกล
◆ พอร์ตการวินิจฉัยเพื่อให้บริการและบำรุงรักษาอย่างรวดเร็ว
◆ รับประกันสองปีมีชีวิตที่ยาวนานขึ้นด้วยแนวคิดการทำความร้อนขั้นสูงและการป้องกันมาตรวัด
◆ ไม่มีการปรับเทียบใหม่ในระยะยาวเนื่องจากเสถียรภาพของสัญญาณที่ยอดเยี่ยมและความสามารถในการทำซ้ำได้แม้ในการใช้งานพลาสม่าที่รุนแรง
◆ มาตรฐานและมาตรฐาน: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
การประยุกต์ใช้งานประเภทต่างๆ
◆ Etch, CVD, PVD และกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ
◆ กระบวนการทางเคมีและการกัดกร่อนของสูญญากาศ
◆ กระบวนการฟิล์มบางทั่วไปและสูญญากาศ
◆ เซ็นเซอร์อ้างอิงสำหรับการตรวจสอบเครื่องมือทดสอบตามมาตรฐานสากล
◆ มาตรฐานการถ่ายโอนสำหรับการตรวจสอบย้อนกลับ
SPECIFICATION
ชนิด | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1Torr / mbar | 0.5 ... 0.05 Torr / mbar | |
ความถูกต้อง | % ของการอ่าน | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
ผลกระทบอุณหภูมิ | ||||
เมื่อศูนย์ | เปอร์เซ็นต์ FS / ° C | 0.0025 | 0.0025 | 0.0025 |
ในช่วง | % ของการอ่าน / ° C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
มติ | เปอร์เซ็นต์ FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
ความดันสูงสุด | kPa (สัมบูรณ์) | 400 | 260 | 130 |
การอ่านต่ำสุด | เปอร์เซ็นต์ FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
ข้อเสนอแนะต่ำสุด การอ่าน | เปอร์เซ็นต์ FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
ข้อเสนอแนะต่ำสุด แรงดัน ควบคุม | เปอร์เซ็นต์ FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
อุณหภูมิ | ||||
การทำงาน (สภาพแวดล้อม) | ° C | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
Bakeout ที่หน้าแปลน | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
การเก็บรักษา | ° C | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
แรงดันไฟฟ้า | +14 ... +30 VDC หรือ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC หรือ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC หรือ± 15 V (± 5%) | |
การใช้พลังงาน | ||||
ในช่วงที่ร้อนขึ้น | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
ที่อุณหภูมิใช้งาน | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
สัญญาณขาออก (อนาล็อก) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
เวลาตอบสนอง | นางสาว | 30 | 30 | 130/30 |
ระดับ การป้องกัน | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
มาตรฐาน | ||||
ความสอดคล้องของ CE | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 และ RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 และ RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 และ RoHS | |
การรับรอง ETL | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | |
การปฏิบัติตาม SEMI | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
การเชื่อมต่อ ไฟฟ้า | D-sub, 15 ขั้วชาย | D-sub, 15 ขั้วชาย | D-sub, 15 ขั้วชาย | |
จุดเตรียมตัว | ||||
จำนวนจุดตั้งค่า | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | |
ติดต่อรีเลย์ | V (DC) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
hysteresis | เปอร์เซ็นต์ FS | 1 | 1 | 1 |
พอร์ตการวินิจฉัย | ||||
โปรโตคอล | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
อ่าน | ความดัน, สถานะ, ID | ความดัน, สถานะ, ID | ความดัน, สถานะ, ID | |
ตั้งค่า | ตั้งค่าตัวกรอง, ศูนย์ ปรับตั้งค่าจากโรงงาน, DC offset | ตั้งค่าตัวกรอง, ศูนย์ ปรับตั้งค่าจากโรงงาน, DC offset | ตั้งค่าตัวกรอง, ศูนย์ ปรับตั้งค่าจากโรงงาน, DC offset | |
วัสดุที่สัมผัสได้ สูญญากาศ | อลูมิเนียมออกไซด์เซรามิค (AI2O3) เหล็ก stainles (AISI 316L) | อลู มิ เนียมออกไซด์ เซรามิค (AI 2 O 3 ), สแตนเลส (AISI 316L ) | อลู มิ เนียมออกไซด์ เซรามิค (AI 2 O 3 ), สแตนเลส (AISI 316L ) | |
ปริมาณภายใน | ||||
หลอด 1/2 '' | cm³ (นิ้ว³) | 4.2 (0.26) | ||
DN 16 ISO KF | cm³ (นิ้ว³) | 4.2 (0.26) | ||
DN 16 CF-R | cm³ (นิ้ว³) | 4.2 (0.26) | ||
8 VCR® | cm³ (นิ้ว³) | 4.2 (0.26) | ||
ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องวัดสูญญากาศและคอนโทรลเลอร์ที่เข้ากันได้ cdg045d 0.05 ~ 1000torr / mbar, China, ผู้ผลิต, ผู้จัดจำหน่าย, สั่งซื้อ, ที่กำหนดเอง, ผลิตในประเทศจีน
คุณอาจชอบ
