ตัวควบคุมการไหลเวียนของอากาศทั่วไป - MKS 1179C
1179C เป็นตัวควบคุมการไหลแบบมวลรวมทั่วไปที่ออกแบบมาเพื่อวัดและควบคุมการไหลของก๊าซในรูปแบบต่างๆ ตัวควบคุมการไหลเวียนของมวลที่ 1179 มีให้เลือกตั้งแต่ Full Scale ตั้งแต่ 10 วินาทีต่อวินาทีถึง 20 วินาทีโดยให้การควบคุมการไหลที่รวดเร็วและสามารถทำซ้ำได้ถึง ...
- การแนะนำสินค้า
บทนำ
1179C เป็นตัวควบคุมการไหลแบบมวลรวมทั่วไปที่ออกแบบมาเพื่อวัดและควบคุมการ ไหลของก๊าซในรูปแบบต่างๆ ตัวควบคุมการไหลเวียนของมวลที่ 1,179 มีให้เลือกตั้งแต่ Full Scale ตั้งแต่ 10 วินาทีต่อวินาทีถึง 20 วินาทีโดยให้การควบคุมการไหลของการทำซ้ำได้รวดเร็วและต่ำสุดถึง 0.2 วินาทีต่อวินาที นอกจากนี้ยังสามารถใช้เป็นตัวควบคุมแรงดันเมื่อเชื่อมต่อกับตัวแปลงความดันที่เหมาะสม
1179C เป็นตัวเปลี่ยนรูปแบบตรงกับฟังก์ชั่นสำหรับ MFCs ที่พบมากที่สุดใน ตลาดในปัจจุบัน รอยต่อขนาดมาตรฐาน 3 นิ้วทำให้สามารถวางเครื่องรุ่น 1179C ลงในพื้นที่เดียวกันได้โดยไม่ต้องปรับเปลี่ยนสายแก๊สที่มีอยู่ ขั้วต่อไฟฟ้าเป็นขั้วต่อแบบ "D" แบบเดียวกันโดยมีสัญญาณขาออกสัญญาณและฟังก์ชันเหมือนกันในอุตสาหกรรมดังนั้นจึงไม่ต้องติดตั้งสายเคเบิลหรือขั้วต่ออีกต่อไป 1179C ใช้งานได้กับอุปกรณ์จ่ายไฟและจอแสดงผล MFC จาก MKS หรือผู้ผลิตอื่น ๆ
คุณสมบัติและประโยชน์
◆ การออกแบบเซ็นเซอร์ 1 ชิ้นที่ได้รับการจดสิทธิบัตรให้ความเสถียรเป็นศูนย์
◆ ช่วงการไหลแบบเต็มช่วงตั้งแต่ 10 วินาทีต่อวินาทีจนถึง 20 วินาทีสำหรับการวัดและควบคุมการไหลที่แม่นยำและทำซ้ำได้
◆ ร้อยละของความถูกต้องมาตราส่วนเต็มรูปแบบสำหรับการกำหนดค่าอนาล็อก
◆ เวลาอุ่นเครื่องอย่างรวดเร็วลดการหยุดชะงักของการผลิตที่มีราคาแพง
◆ เข้ากันได้กับ MKS MFC และโมดูลจัดหา / อ่านข้อมูลก่อนหน้านี้
◆ การออกแบบและการทดสอบที่เข้มงวดรวมถึงการวิเคราะห์ MTBF และการทดสอบ STRIFE เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพในระยะยาว
พื้นผิวของสเตนเลสเปียกการแปรรูปห้องสะอาดและการใช้ซีลยางเพื่อใช้ในกระบวนการทำความสะอาดที่น้อยที่สุด
◆การ รับประกัน 2 ปีทำให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพและความพึงพอใจของลูกค้า
โครงสร้าง
แผนภาพส่วนหนึ่งของตัวควบคุมมวล - โฟล 1179C
ความถูกต้องของการไหลและการทำซ้ำได้
กราฟด้านบนแสดงความถูกต้องของการไหลโดยทั่วไปและความสามารถในการทำซ้ำของ MFCs ในตระกูล 1179C การวัดได้ทำโดยใช้เครื่องสอบเทียบ Calibrator Standard Califlow®ของ MKS Instruments ในช่วง 10 วัน
เสถียรภาพเป็นศูนย์
กราฟด้านบนแสดงค่าความคงตัวเป็นศูนย์และช่วงที่เสถียรของเซ็นเซอร์ 1179C ที่ใช้ในตระกูล 1179 เครื่องมือนี้ได้รับการทดสอบและสุ่มทดสอบค่าศูนย์และช่วงลอยตัวในช่วง 19 เดือน
SPECIFICATION
| ช่วงเต็ม (N 2 เทียบเท่า) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| ความดันขาเข้าสูงสุด | 150 psig | |
ความดันการใช้งานปกติ ที่แตกต่างกัน (มีบรรยากาศ แรงดันที่ช่อง MFC) | 10 ถึง 5000 sccm | 10 ถึง 40 psid |
| 10000 ถึง 30000 sccm | 15 ถึง 40 psid | |
| ช่วงการควบคุม | 2% ถึง 100% ของ FS | |
ความถูกต้อง (อะนาล็อก) (รวมทั้งไม่เป็นเชิงเส้น, hysteresis และความไม่ซ้ำซ้อน อ้างอิงถึง 760 mmHg และ 0 ° C) | ± 1.0% ของ FS | |
| การทำซ้ำ | ± 0.2% ของ FS | |
| มติ | 0.1% ของ FS | |
| ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิ | ศูนย์ | <0.05% ของ="" fs="" °=""> |
| ระยะ | <0.08% ของ=""> | |
| เวลาในการอุ่นเครื่อง (ภายใน 0.2% ของ FS ที่มีสภาวะคงตัว) | <2> | |
| เวลาในการตั้งค่าตัวควบคุม (ตามแนวทาง SEMI E17-91) | <2> | |
| สัมประสิทธิ์แรงดัน | <0.02% ของ=""> | |
| ช่วงอุณหภูมิการทำงานปกติ | 0 ° C ถึง 50 ° C | |
| ต้องการแรงดันไฟฟ้าขาเข้า | แม็กซ์ ปัจจุบันเมื่อเริ่มต้น (2 วินาทีแรก) | ± 15 VDC (± 5%) ที่ 200 mA |
| กระแสไฟฟ้าทั่วไปที่สภาวะคงตัว | ± 15 VDC (± 5%) ที่ 100 mA | |
| สัญญาณสั่ง Point Point | 0 ถึง 5 VDC จาก <20k> | |
| สัญญาณเอาท์พุท | 0 ถึง 5 VDC เป็น> 10 K Ω | |
| Output Impedance | <1> | |
ประเภทตัวเชื่อมต่อ อนาล็อก | 9-pin หรือ 15-Pin Type "D" (ขั้วต่อ "D" แบบ 15 พินเป็นแบบอิเล็กทรอนิกส์ เข้ากันได้กับ ตัวควบคุม การไหล MKS อื่น ๆ ปรึกษาด้านวิศวกรรมแอพพลิเคชั่นเพื่อดูรายละเอียดเพิ่มเติม) | |
| วัสดุที่เปียกชื้น | มาตรฐาน | 316L SS, Viton®, นิกเกิล |
| ตัวเลือก (ซีลและวาล์วที่นั่ง) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez ® | |
| รั่วไหล Integrity | ภายนอก (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| ผ่านวาล์วปิด | <1.0% ของ="" fs="" ที่="" 40="" psig="" inlet="" to=""> e (เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการไหลผ่านวาล์วปิดวาล์วบวกที่แยกต่างหากแนะนำ) | |
| ฟิตติ้ง (เข้ากันได้กับ) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| การปฏิบัติตาม | CE | |
DRAWING DRAWING
หมายเหตุ: ยกเว้นที่ระบุไว้เป็นอย่างอื่นขนาดเป็นค่าที่ระบุเป็นนิ้ว (มม. ที่อ้างอิง)
ป้ายกำกับยอดนิยม: ตัวควบคุมการไหลทั่วไปของมวล - mks 1179c, China, ผู้ผลิต, ซัพพลายเออร์, ซื้อ, กำหนดเอง, ทำในประเทศจีน
